电子枪功率 |
6kw-15kw |
电子束偏角 |
270° |
阳极电压 |
8KV-10KV |
阴极加热电源 |
AC 3V+3V 60V可调 |
启动真空 |
6.7×10-3Pa |
用途
使用于真空光学镀膜机可镀制增透膜、反射膜、滤光膜、分光膜、常通膜、高反膜、彩色反射膜等各种膜系,能够实现0-99层膜的膜系。
优点
1、能量分布均匀束斑小,垂直入射雷竞技官网,电子枪不挖坑,基本上平面整体蒸发,光斑直径¢5-¢25可调,扫描方式方形、圆环、圆面可设,并可记忆16位坩埚扫描频率、幅度大小雷竞技官网、扫描方式及斑点位置。对操作者依耐性减少,使产品的重复性得到比较大的改善。
2雷竞技官网、各单元为分体式方便维修和检查雷竞技官网。